Descripción de productos
El corazón de la fabricación de salas blancas,Bombas de vacío semiconductorasestán diseñados-con precisión para cumplir con los requisitos excepcionalmente estrictos de la fabricación de microelectrónica. Estas bombas están diseñadas para ofrecer un entorno de vacío perfectamente limpio, estable y libre de vibraciones-, lo cual es absolutamente crítico para procesos donde incluso la contaminación microscópica puede provocar fallas catastróficas del producto.productoemplean universalmente diseños libres de aceite-y resistentes a la corrosión-, y a menudo utilizan materiales especializados que pueden resistir gases de proceso agresivos. Alcanzan los altos niveles de vacío necesarios, normalmente hasta 0,001 Pascal, con caudales ajustables y están diseñados para exhibir perfiles de vibración extremadamente bajos para evitar daños a nanoestructuras delicadas.
Su filosofía de diseño modular permite una integración sencilla en conjuntos de herramientas complejos y facilita el mantenimiento, lo cual es crucial para minimizar el costoso tiempo de inactividad de las herramientas. La aplicación principal deBombas de vacío semiconductorases, como su nombre lo indica, en la industria de los semiconductores, donde se utilizan en prácticamente todos los pasos de la producción de chips, desde el grabado y la deposición hasta la implantación de iones y la litografía. También son vitales en campos relacionados como el embalaje electrónico y la fabricación de células fotovoltaicas. Más allá de la electrónica, estas bombas se utilizan en maquinaria de caucho y plástico para procesar materiales de grado semiconductor- de alta-pureza. En el ámbito del envasado de alimentos, ayudan a desarrollar envases especializados para componentes electrónicos sensibles. Dentro de los sistemas de recubrimiento al vacío dedicados,productoson esenciales para realizar procesos de recubrimiento de grado semiconductor-que exigen la máxima pureza y confiabilidad. Cuando el éxito de tu proceso depende de un vacío inmaculado e inquebrantable,Bombas de vacío semiconductorasson la solución definitiva y de confianza.
|
Parámetros básicos |
tipoNúmero |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Velocidad de bombeo, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Presión última, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Velocidad de rotación, rpm |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Lp de ruido, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Consumo máximo de agua, L/min. |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Diámetro de entrada, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Diámetro del puerto de escape, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Potencia del motor, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Peso del cabezal de la bomba, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Etiqueta: bombas de vacío de semiconductores, fabricantes, proveedores, fábrica de bombas de vacío de semiconductores de China